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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心半導(dǎo)體材料測(cè)試體微缺陷測(cè)試LST體微缺陷測(cè)試設(shè)備

LST體微缺陷測(cè)試設(shè)備

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

LST是檢測(cè)半導(dǎo)體材料的體微缺陷有力工具,通過CCD相機(jī),對(duì)入射光在樣品邊沿的散射進(jìn)行掃描,獲得體微缺陷分布信息。

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2025-06-24
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:821
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Capability:

  • 物鏡自動(dòng)調(diào)節(jié)

  • 納米級(jí)移動(dòng)

  • 對(duì)缺陷濃度和尺寸更加靈敏

  • 測(cè)試尺寸:20nm到15nm

  • 缺陷濃度:1e5-2.5e10cm3

LST體微缺陷測(cè)試設(shè)備










上海波銘科學(xué)儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統(tǒng)、晶萃光學(xué)機(jī)械和光學(xué)平臺(tái)、激光器、Edmund 光學(xué)元件、Newport 產(chǎn)品、濱松光電探測(cè)器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學(xué)測(cè)試系統(tǒng)、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級(jí)相機(jī)、Semilab 半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備及高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)。經(jīng)過多年的發(fā)展,上海波銘科學(xué)儀器有限公司在市場(chǎng)上已取得了一定的地位。我們的產(chǎn)品和服務(wù)在行業(yè)內(nèi)具有較高的知zhi名度和美譽(yù)度,客戶遍布全國。我們將繼續(xù)努力,不斷提升市場(chǎng)地位和影響力。

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