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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心光譜系統(tǒng)顯微缺陷膜厚膜厚量測儀 FE-300

膜厚量測儀 FE-300

產(chǎn)品簡介

薄膜到厚膜的測量范圍

UV~NIR光譜分析 高性能的低價光學(xué)薄膜量測儀

藉由絕對反射率光譜分析膜厚

完整繼承FE-3000高gao端機種90%的強大功能

無復(fù)雜設(shè)定,操作簡單

產(chǎn)品型號:
更新時間:2025-06-24
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:898
詳細介紹在線留言

產(chǎn)品信息

特殊長度

●支持從薄膜到厚膜的各種薄膜厚度

●使用反射光譜分析薄膜厚度

●實現(xiàn)非接觸、非破壞的高精度測量,同時體積小、價格低

●簡單的條件設(shè)置和測量操作!任何人都可以輕松測量薄膜厚度

●通過峰谷法、頻率分析法、非線性最小二乘法、優(yōu)化法等,可以進行多種膜厚測量。

●非線性最小二乘法薄膜厚度分析算法可以進行光學(xué)常數(shù)分析(n:折射率,k:消光計數(shù))。

測量項目

絕對反射率測量

膜厚分析(10層)

光學(xué)常數(shù)分析(n:折射率,k:消光計數(shù))

測量對象

功能膜、塑料
透明導(dǎo)電膜(ITO、銀納米線)、相位差膜、偏光膜、AR膜、PET、PEN、TAC、PP、PC、PE、PVA、粘合劑、膠粘劑、保護膜、硬涂層、防指紋, 等等。

半導(dǎo)體
化合物半導(dǎo)體、Si、氧化膜、氮化膜、Resist、SiC、GaAs、GaN、InP、InGaAs、SOI、藍寶石等。

表面處理
DLC涂層、防銹劑、防霧劑等。

光學(xué)材料
濾光片、增透膜等。

FPD
LCD(CF、ITO、LC、PI)、OLED(有機膜、封裝材料)等

其他
HDD、磁帶、建筑材料等

原理

測量原理

大冢電子利用光學(xué)干涉儀和自有的高精度分光光度計,實現(xiàn)非接觸、無損、高速、高精度的薄膜厚度測量。光學(xué)干涉測量法是一種使用分光光度計的光學(xué)系統(tǒng)獲得的反射率來確定光學(xué)膜厚的方法,如圖 2 所示。以涂在金屬基板上的薄膜為例,如圖1所示,從目標樣品上方入射的光被薄膜表面(R1)反射。此外,穿過薄膜的光在基板(金屬)和薄膜界面(R2)處被反射。測量此時由于光程差引起的相移所引起的光學(xué)干涉現(xiàn)象,并根據(jù)得到的反射光譜和折射率計算膜厚的方法稱為光學(xué)干涉法。分析方法有四種:峰谷法、頻率分析法、非線性最小二乘法和優(yōu)化法。

膜厚量測儀 FE-300

規(guī)格

類型薄膜型標準型
測量波長范圍300-800nm450-780nm
測量膜厚范圍
(SiO 2換算)
3nm-35μm10nm-35μm
光斑直徑φ3mm / φ1.2mm
樣本量φ200×5(高)mm
測量時間0.1-10s內(nèi)
電源AC100V ± 10% 300VA
尺寸、重量280 (W) x 570 (D) x 350 (H) 毫米,24 公斤
其他參考板,配方創(chuàng)建服務(wù)

設(shè)備配置

光學(xué)家譜

膜厚量測儀 FE-300

 

軟件畫面

膜厚量測儀 FE-300


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