OPTM series 嵌入型

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
利用顯微微分光膜厚計(jì)OPTM series的高精度、微小光點(diǎn)，在線提供制作晶片圖案后的微小區(qū)域測(cè)量等膜厚信息。

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2025-05-07

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問(wèn)量：351

產(chǎn)品咨詢(xún) 18117546256

產(chǎn)品分類(lèi)

PRODUCT CLASSIFICATION

光譜系統(tǒng)

顯微缺陷膜厚半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測(cè)儀高光譜測(cè)試系統(tǒng) 瞬態(tài)吸收系統(tǒng) 太陽(yáng)能電池量子效率太陽(yáng)光模擬器IV系統(tǒng) 顯微光電流成像系統(tǒng) 探測(cè)器光響應(yīng)度系統(tǒng) 光譜變溫附件探針臺(tái) 拉曼SERS增強(qiáng)試劑顯微熒光系統(tǒng) 組合熒光系統(tǒng) 鏡頭透過(guò)率測(cè)試系統(tǒng) 漫反射率測(cè)試系統(tǒng) 反射、吸收率系統(tǒng) 成像亮度計(jì) 標(biāo)準(zhǔn)燈參考輻射定標(biāo) 電致發(fā)光系統(tǒng) 常規(guī)發(fā)射光譜系統(tǒng) 共聚焦拉曼光譜儀

查看全部產(chǎn)品

相關(guān)文章

顯微分光膜厚儀是一種高精度的測(cè)量?jī)x器

光束質(zhì)量分析儀主要應(yīng)用在哪些領(lǐng)域呢

電動(dòng)位移臺(tái)如何正確的應(yīng)用呢

光學(xué)平臺(tái)的測(cè)量方法及原理

詳細(xì)介紹在線留言

產(chǎn)品信息

特　點(diǎn)

●膜厚測(cè)量范圍1nm～92μm（換算為SiO2）

●膜厚值高重復(fù)精度

●1點(diǎn)1秒以?xún)?nèi)的高速測(cè)量

●最小小點(diǎn)Φ3μm）中瞄準(zhǔn)模式

●最zui適shi合圖案晶片的膜厚映射

●能夠取得圖案對(duì)準(zhǔn)用圖像

裝置組裝示意圖

OPTM series 嵌入型

測(cè)量數(shù)據(jù)示意圖

OPTM series 嵌入型

測(cè)量光點(diǎn)周邊圖像

OPTM series 嵌入型

適應(yīng)過(guò)程示例

CMP工藝

蝕刻工藝

成膜工藝等

式樣

OPTM series 嵌入型

上海波銘科學(xué)儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統(tǒng)、晶萃光學(xué)機(jī)械和光學(xué)平臺(tái)、激光器、Edmund 光學(xué)元件、Newport 產(chǎn)品、濱松光電探測(cè)器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學(xué)測(cè)試系統(tǒng)、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級(jí)相機(jī)、Semilab 半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備及高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)。經(jīng)過(guò)多年的發(fā)展，上海波銘科學(xué)儀器有限公司在市場(chǎng)上已取得了一定的地位。我們的產(chǎn)品和服務(wù)在行業(yè)內(nèi)具有較高的知zhi名度和美譽(yù)度，客戶(hù)遍布全國(guó)。我們將繼續(xù)努力，不斷提升市場(chǎng)地位和影響力。

上一個(gè)：Load Port對(duì)應(yīng)膜厚測(cè)量系統(tǒng) GS-300